一、純水系統(tǒng) 

1、依據(jù)工藝節(jié)點(diǎn)水質(zhì)需求完成水量平衡計(jì)算，產(chǎn)水率偏差≤±2%；設(shè)計(jì)產(chǎn)水電阻率≥18.2MΩ·cm@25℃，TOC≤1ppb，顆粒≥0.05μm≤100pcs/mL，SiO?≤0.5ppb，DO≤1ppb。 

2、設(shè)計(jì)原水→MMF→ACF→UF→RO→RO→EDI→UV-185→拋光混床→UF終端工藝，RO回收率≥75%，系統(tǒng)總回收率≥90%；濃水TDS≤60000mg/L，滿足園區(qū)排放納管限值。 

3、選型RO膜通量≤28Lm?2h?1，EDI模塊電流密度≤0.15Adm?2，拋光樹脂出水電阻下降速率≤0.1MΩ·cmh?1；出具泵、換熱器、UV燈、UF膜完整性測(cè)試規(guī)格書。 

4、配置在線監(jiān)測(cè)：電阻率、TOC、顆粒、SiO?、DO、溫度每30s刷新，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)≥5年；異常報(bào)警延遲≤60s，4-20mA遠(yuǎn)傳SCADA，歷史曲線可導(dǎo)出CSV。 

5、設(shè)計(jì)CIP/SIP策略：RO膜清洗后標(biāo)準(zhǔn)化通量恢復(fù)≥98%，微生物控制≤10cfu/100mL；拋光混床化學(xué)消毒溫度80℃維持30min，endotoxin下降≥3log。 

6、完成安裝、調(diào)試、驗(yàn)證：水壓試驗(yàn)1.5倍設(shè)計(jì)壓力30min無(wú)滲漏；RO膜產(chǎn)水電導(dǎo)與標(biāo)準(zhǔn)差≤±2%；EDI連續(xù)運(yùn)行72h出水合格率100%；交付IQ/OQ/PQ及GMP/SEMIS2符合性報(bào)告。

二、制程廢水處理系統(tǒng) 

1、依據(jù)分項(xiàng)水質(zhì)（HF、NH?-N、Cu、Ni、Pb、Sn、COD、TDS、pH等）完成分類收集、定量投加、分段處理設(shè)計(jì)，出水滿足GB21900-2008表3限值，其中Ni≤0.05mg/L，Cu≤0.3mg/L，F(xiàn)?≤5mg/L，COD≤50mg/L，NH?-N≤5mg/L。 

2、設(shè)計(jì)酸性、堿性、含氟、含氨、重金屬、CMP研磨、光刻顯影、溶劑七類獨(dú)立管網(wǎng)，泄漏檢測(cè)傳感器響應(yīng)≤30s，自動(dòng)切換至應(yīng)急收集罐，罐體FRP雙層壁泄漏間隙檢漏靈敏度≤1Lh?1。 

3、采用Ca(OH)?兩段除氟，一級(jí)反應(yīng)pH11.5±0.2，二級(jí)pH8.5±0.2，CaF?沉淀后F?≤20mg/L；再經(jīng)鋁鹽深度絮凝+UF，出水F?≤5mg/L，污泥含水率≤65%。 

4、重金屬采用硫化鈉+NaOH共沉淀，ORP控制-300±20mV，后接離子交換樹脂保安，Ni≤0.05mg/L；樹脂工作交換容量下降≥10%立即再生，再生廢液回流至前端均質(zhì)池。 

5、高氨氮廢水采用MAP（磷酸銨鎂）+吹脫+次氯酸鈉折點(diǎn)，NH?-N由2000mg/L降至≤5mg/L，回收MgNH?PO?·6H?晶體純度≥95%，外賣肥料。 

6、CMP研磨廢水經(jīng)混凝+溶氣氣浮DAF，SS去除率≥95%，出水濁度≤5NTU；DAF回流比30%，溶氣壓力0.45MPa，微氣泡直徑≤30μm。 

7、終端RO濃縮液采用MVR蒸發(fā)+冷凍結(jié)晶雜鹽減量，清水產(chǎn)率≥95%，雜鹽含水率≤10%，委外焚燒成本下降≥60%。 

8、系統(tǒng)回收率≥92%，單位處理能耗≤1.8kWhm?3；年度藥劑成本同比降≥5%，污泥減量≥10%。

三、生活廢水處理系統(tǒng) 

1、設(shè)計(jì)流量按全廠最大班人數(shù)×150Lcap?1d?1×1.2變化系數(shù)，出水執(zhí)行GB18918-2002一級(jí)A，COD≤30mg/L，BOD?≤6mg/L，SS≤10mg/L，NH?-N≤1.5mg/L，TN≤10mg/L，TP≤0.3mg/L。 

2、采用格柵→調(diào)節(jié)池→缺氧→好氧MBR→紫外消毒工藝，MBR膜通量≤15Lm?2h?1，MLSS8-10gL?1，DO2-4mgL?1，SRT≥20d；膜運(yùn)行TMP≤30kPa，在線反洗每20min一次，維護(hù)性清洗每周一次，恢復(fù)性清洗每季度一次。 

3、紫外消毒劑量≥40mJcm?2，出水糞大腸菌群≤100cfuL?1；設(shè)置在線余氯監(jiān)測(cè)0.2-0.5mgL?1作為備用消毒。 

4、污泥采用疊螺脫水+低溫帶式干化，含水率≤30%，干料熱值≥3000kcalkg?1，送燃煤電廠協(xié)同焚燒；臭氣經(jīng)生物濾池+光催化，排放濃度≤1000OUm?3。

四、公用工程與系統(tǒng)支持 

1、設(shè)計(jì)超純水、廢水、生活水、消防水、冷卻水五網(wǎng)獨(dú)立管廊，標(biāo)識(shí)色標(biāo)符合GB7231；管道坡度≥0.5%，放空口≤30m一處，雙閥雙鎖便于維護(hù)。 

2、配置中央加藥站，PAC、PAM、NaOH、H?SO?、NaClO、Na?S儲(chǔ)罐液位連續(xù)測(cè)量誤差≤±1%，加藥泵采用變頻+隔膜計(jì)量，投加精度≤±2%。 

3、建立全系統(tǒng)PLC+SCADA平臺(tái)，實(shí)時(shí)顯示流量、壓力、液位、pH、ORP、電導(dǎo)率、溫度、藥劑余量，數(shù)據(jù)刷新≤2s；歷史存儲(chǔ)≥5年，支持OPCUA對(duì)接廠務(wù)FMCS。 

4、設(shè)置應(yīng)急旁路與回用閥組，異常排放≤5min切換，確保生產(chǎn)廢水零外溢；建立1000m3事故池，滿足最大8h事故水量。

五、運(yùn)行維護(hù)與故障處理 

1、制定7×24h巡檢制度，超純水、廢水站每班≥1次，關(guān)鍵水質(zhì)在線儀表每2h比對(duì)一次；儀表漂移>±2%立即校準(zhǔn)。 

2、建立RO膜、EDI、UV燈、MBR膜、樹脂生命周期臺(tái)賬，RO膜通量下降≥15%或壓差上升≥20%執(zhí)行化學(xué)清洗；MBR膜破損率≥5%立即停線更換。 

3、故障響應(yīng)：純水系統(tǒng)水質(zhì)超標(biāo)MTTR≤30min，廢水系統(tǒng)超標(biāo)排放MTTR≤60min；建立RCA數(shù)據(jù)庫(kù)，年度重復(fù)故障率下降≥15%。 

4、年度系統(tǒng)回收率、能耗、藥耗、污泥量對(duì)標(biāo)，提出改進(jìn)方案，單位處理成本同比降≥3%。

六、合規(guī)、安全與環(huán)保 

1、符合GB/T11446、GB21900、GB18918、GB50050、ISO14698、FDA/EU-GMP、SEMIS2；取得排污許可證，在線監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)上傳生態(tài)環(huán)境部門，傳輸率≥99%。 

2、建立化學(xué)品MSDS、PPE、雙碳一控（濃度、總量、速率）管理制度，危化品儲(chǔ)罐圍堰容積≥110%，防滲層滲透系數(shù)≤1×10?12cms?1。 

3、編制有限空間、酸堿灼傷、氯氣泄漏、硫化氫中毒應(yīng)急預(yù)案，演練≥2次/年，演練評(píng)估改進(jìn)完成率100%；年度環(huán)保事故0起。

七、項(xiàng)目與成本管理 

1、編制水處理專業(yè)WBS、進(jìn)度網(wǎng)絡(luò)圖，關(guān)鍵路徑偏差≤3天；預(yù)算控制±2%以內(nèi)，設(shè)計(jì)變更簽證率≤1%。 

2、工程量清單準(zhǔn)確率≥98%，超純水拋光樹脂、RO膜、MBR膜、化學(xué)藥劑損耗率≤1%；廢酸、廢樹脂、雜鹽委外合規(guī)率100%。 

3、竣工后30天內(nèi)完成竣工圖、備品備件、運(yùn)行軟件、驗(yàn)證報(bào)告移交，資料完整率100%。

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